一、離子滲氮設備

 離子滲氨爐應密封良好，符合JB/T 2897《輝光離子氮化爐基本技術條件》的要求。

 設備配備有壓力表、氣體流量計、U形真空計，可對滲氨過程進行爐內壓力、真空度、氨氣供應量的控制和監測。還應配有測溫裝置。

 為保證零件的滲氮效果，根據需要爐內可設置輔助陽極。

二、滲氮介質

 采用瓶裝氨氣，應符合GB 536《液態無水氨標準》中的一級標準。氨氣通入前應經過干燥處理。

 氨氣應減壓后經過流量計通入爐內，壓力一般不超過0.1MPa,并可調控流量。

三、滲氮零件的預先處理

不銹鋼滲氮件應按“不銹鋼滲氮前的預先處理”的要求進行預處理。

四、離子滲氮前的生產準備

①. 滲氮件的檢查。

  離子滲氮工件表面應清洗，去除銹痕、油污、臟物，并在入爐前烘干。工件不宜有尖角、銳邊。為保證離子滲氮的質量，工件表面粗糙度應達Ra 1.6μm或更高，對于滲氮后不再磨削的工件，表面粗糙度不大于Ra 0.8μm.離子滲氮件原則上不留加工余量，必須留有磨量時，最大留量不大于0.05mm。

 ②. 對于工件上易引起輝光放電之處，如小孔（特別是ф1~68mm的盲孔）、縫隙等，應采取堵塞等措施，以防止打弧。對不需要滲氮的部位應屏蔽。注意，不能采用鍍層的方法。

 ③. 工件入爐前，應檢查設備的機械、電氣系統及附屬裝置，保證正常使用。

 ④. 根據工件的形狀適當擺放或吊掛，要防止相互接觸，工件的間距不小于10mm,如采用輔助陽極，陽極與氮化件表面的距離在50~120mm時效果最好。

 ⑤. 根據技術檢查的要求，放入同材質并經過相同預先處理的試塊。

五、滲氮操作

 工件入爐后蓋好爐蓋，連通各管道，開啟真空泵、排除爐內空氣，預抽真空。當爐內真空度達7~40Pa時可稍加氨氣接通電源，輸入高壓電流起輝，開始應采用不大于10A的小電流打弧，濺射工件，使工件表面凈化。

 當工件表面已凈化、輝光穩定后，應加大電流，使工件升溫，為防止工件變形，可根據零件的情況緩慢升溫，升溫速度視情況控制在100~150℃/h之間。

 爐溫升至規定的保溫溫度后，穩定電壓、電流進行保溫，按工藝規范調整電壓、電流、溫度、氨量、爐內壓力等參數，控制輝光厚度在2~3mm之間。

 工件保溫結束后停止供氣，切斷電源，使工件冷卻。對于有嚴格變形要求的零件，也可繼續以小電流維持弱輝光，從而降低爐內工件的冷卻速度。

 工件應在150℃以下出爐。開啟爐蓋前應向爐內通入空氣，以恢復爐內的壓力。

 操作結束后按規定進行質量檢查。

1Cr18Ni9Ti奧氏體不銹鋼離子滲氮工藝如圖7-6所示。